එර්ලන්ගන් හි පිහිටි ෆ්රෝන්හොෆර් IISB (ඒකාබද්ධ පද්ධති සහ උපාංග තාක්ෂණ ආයතනය) සහ වෙටන්බර්ග් හි පිහිටි මයික්රෝවේව් සහ රේඩියෝ සංඛ්යාත ප්ලාස්මා පද්ධති නිෂ්පාදක PVA TePla AG, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් (AlN) ස්ඵටික නිෂ්පාදනය සඳහා ඒකාබද්ධ රසායනාගාරයක ඔවුන්ගේ විශේෂඥතාව එක්රැස් කරමින් සිටී.
යුරෝපීය ප්රථමයා ලෙස, මෙම හවුල්කාරිත්වය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන අරමුණු සඳහා අඟල් 2 ක විෂ්කම්භයක් සහිත ඒක ස්ඵටික AlN උපස්ථර කාර්මිකව සහාය දක්වන කුඩා කාණ්ඩ නිෂ්පාදනයට හැකියාව ලබා දෙයි. මෙය යුරෝපයේ AlN උපස්ථර ලබා ගැනීමේ හැකියාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන අතර එමඟින් AlN-පාදක උපාංග සහ පද්ධති සංවර්ධනය කිරීම සහ කාර්මික යෙදුම් වෙත ඒවායේ සංක්රමණය වේගවත් කරයි.
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් යනු ඊළඟ පරම්පරාවේ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සඳහා වඩාත්ම පොරොන්දු වූ ද්රව්යයකි. අල්ට්රාවයිඩ්-බෑන්ඩ්ගැප් (UWBG) අර්ධ සන්නායකයක් ලෙස, AlN ආන්තික තත්වයන් යටතේ ක්රියාත්මක වන ෆෝටෝනික්ස්, බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, අධි-සංඛ්යාත ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල නව හැකියාවන් විවෘත කරයි. අද වන විට, උසස් තත්ත්වයේ, විශාල ප්රදේශයක සහ පිරිවැය-ඵලදායී AlN උපස්ථර හිඟය AlN-පාදක ඉලෙක්ට්රොනික පද්ධති සංවර්ධනයට බාධාවක් වී ඇත.
"ඒකාබද්ධ රසායනාගාරය සමඟින්, යුරෝපයෙන් AlN උපස්ථර විශ්වාසදායක සැපයුමක් සහතික කිරීම සඳහා අපි අඩිතාලම දමමින් සිටින අතර, එමඟින් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත AlN උපාංගවල ඊළඟ පරම්පරාව සඳහා නව අපේක්ෂාවන් විවෘත කරමු," නයිට්රයිඩ් ද්රව්ය සඳහා කණ්ඩායම් නායක සහ Fraunhofer IISB හි AlN ද්රව්ය සංවර්ධනය සඳහා වගකිව යුතු ආචාර්ය ස්වෙන් බෙසෙන්ඩෝර්ෆර් පවසයි. "PVA TePla සමඟ එක්ව, අපි කාර්මික ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා අපගේ විශේෂඥතාවට දායක වන අතර, එමඟින් කොන්ක්රීට් යෙදුම් වෙත මාරු කිරීම සඳහා පූර්වාවශ්යතා නිර්මාණය කරමු."
ඔප්පු කරන ලද උපකරණ තාක්ෂණය හිමිකාර ක්රියාවලි දැනුම සපුරාලයි
ඒකාබද්ධ රසායනාගාරයේදී, Fraunhofer IISB එහි හිමිකාර PVT (භෞතික වාෂ්ප ප්රවාහනය) ක්රියාවලි තාක්ෂණය භාවිතා කරමින් අඟල් 2 AlN තොග ස්ඵටික නිෂ්පාදනය කරයි. මෙම ක්රියාවලියේදී, AlN කුඩු 2000°C ට වඩා ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කබොලක වාෂ්ප කර බීජ ස්ඵටිකයක් මත තැන්පත් කරනු ලැබේ. PVA TePla මෙම කාර්යය සඳහා PVT පද්ධති සපයයි, ඒවා දැනටමත් අඟල් 8-විෂ්කම්භය සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ස්ඵටික සඳහා ලොව පුරා භාවිතයේ පවතින අතර දැන් අඟල් 2 AlN ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා විශේෂයෙන් අනුවර්තනය කර ඇත.
Fraunhofer IISB විසින් දායක වූ ක්රියාවලි විශේෂඥතාව හේතුවෙන්, PVA TePla කණ්ඩායමට තමන්ගේම පහසුකම් තුළ සැසඳිය හැකි ගුණාත්මක AlN ස්ඵටික ඉක්මනින් නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි විය. ඒකාබද්ධ රසායනාගාරය අඟල් 2 AlN ස්ඵටිකවල ස්ථාවර කුඩා කාණ්ඩ නිෂ්පාදනය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි. ක්රියාවලි ස්ථායිතාව, ප්රතිනිෂ්පාදන හැකියාව, අස්වැන්න සහ පිරිවැය ව්යුහයන් ක්රමානුකූලව ප්රශස්ත කිරීම සඳහා නිෂ්පාදනය දැන් ක්රමයෙන් වැඩි දියුණු වෙමින් පවතී.
"ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් සමඟින්, අපි SiC අනුගමනය කරමින් ඊළඟ පරම්පරාවේ තාක්ෂණය ක්රියාකාරීව හැඩගස්වමින් සිටිමු," PVA TePla හි පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන උප සභාපති ආචාර්ය ජෑන් ෆීෆර් පවසයි. "ඒකාබද්ධ රසායනාගාරය හරහා, අපට අපගේ උපකරණ විශේෂඥතාව Fraunhofer IISB හි ක්රියාවලි දැනුම සමඟ සෘජුවම ඒකාබද්ධ කළ හැකි අතර, මුල් අවධියේදී අපගේ ගෝලීය ගනුදෙනුකරුවන්ට වෙළඳපල-නැඹුරු විසඳුම් ලබා දීමට අපට හැකියාව ලැබේ," ඔහු තවදුරටත් පවසයි. "අපගේ හවුල් ඉලක්කය වන්නේ සුදුසු උපස්ථර හරහා AlN අංශයේ වෙළඳපල සංවර්ධනය උත්තේජනය කිරීම සහ නිවැරදි උපකරණ සහ අනුරූප ක්රියාවලි විශේෂඥතාව සමඟ තාක්ෂණික හවුල්කරුවන් ලෙස මෙම ක්ෂේත්රයට ඇතුළු වීමට බලාපොරොත්තු වන සමාගම්වලට සහාය වීමයි."
කාර්මික පරිමාණය තුළින් යුරෝපීය තාක්ෂණික ස්වෛරීභාවය ශක්තිමත් කිරීම
ඒකාබද්ධ රසායනාගාරයේ නිපදවන AlN ස්ඵටික තවදුරටත් Fraunhofer IISB හිදී epi-ready AlN උපස්ථර බවට සකසනු ලබන අතර, Erlangen-පාදක පර්යේෂණ සහ නිෂ්පාදන සංවර්ධන සමාගමක් වන LZE GmbH හරහා, විශේෂයෙන් කාර්මික සංවර්ධන සහ පරිමාණ ක්රියාවලීන් වෙත මාරු කරනු ලැබේ. “යුරෝපයේ අර්ධ සන්නායක ස්වෛරීභාවය සඳහා, නව ප්රධාන ද්රව්ය සංවර්ධනය කිරීම පමණක් නොව, කාර්මික යෙදුම් සහ පරිමාණය කළ හැකි අගය නිර්මාණය කිරීම සඳහා වේගයෙන් මාරු කිරීම ඉතා වැදගත් වේ,” LZE හි කළමනාකාර අධ්යක්ෂ ආචාර්ය ක්රිස්ටියන් ෆෝස්ටර් පවසයි. “අති නවීන තාක්ෂණයන් සඳහා එහි වෙළඳපොළ සමඟින්, LZE GmbH සමාගම් සහ පර්යේෂණ ආයතනවලට ගෝලීය වශයෙන් අද්විතීය සහ AlN උපස්ථර සඳහා විවෘත ප්රවේශයක් සපයයි. මේ ආකාරයෙන්, ඉහළ පරිමාණ කාර්මික වෙළඳපොළවල් සඳහා පොරොන්දු වූ යෙදුම් වඩාත් ඉක්මනින් වෙළඳපොළට ගෙන ඒම සහතික කිරීමට අපි උදව් කරමු.”
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-20-2026
